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文章来源：sddrgy
发布时间：2024-12-18 21:02:59
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由于漏孔存在会抵消真空泵部分抽气作用，延长抽气时间，降低真空设备的极限真空。即使在动态情况下能够达到较高真空度，待与真空抽气系统连接阀门关闭，静态内部压力会迅速上升，严重影响器件的工作特性及寿命。真空系统漏气是的，不漏气是相对的，对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以为该系统的漏率是容许的，动态真空系统的容许漏率Q一应满足公式()Qmax≤／OPS式中P---系统工作压力S---系统的有效抽速对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以，这时即使存在着漏孔，同样可以认为该系统的漏率是容许的，静态真空系统容许漏率Qmax应满足公式Qmax≤(Pt---P)V／t式中P---系统工作压力Pt—系统极限压力V---系统容积t--时间检漏方法的分类检漏的方法很多，但各有特点和使用范围，究竟选用哪种方法比较合适，要根据具体情况而定，作为比较理想的检漏方法应该满足下述几方面的要求：()检漏灵敏度高，满足少于被检漏率二个数量级以上。